D07-11C质量流量控制器流量计

类型

D07-11C

流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)    SCCM
  ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

精准度

±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

线性

±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)

重复精度

±0.2  %F.S

响应时间

电特性:      10   sec      气特性:  ≤ 4 sec

工作压差范围

≤10SLM  (0.2 ~   0.8)  MPa
  ＞10SLM  (0.2 ~ 0.6)  MPa

温度系数

-

最大工作压力

10  MPa

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

耐压

10MPa

电源

+15 V   50 mA   -15V    200 mA;

重量

1.2  kg