CS系列产品采用了国际领先的技术,申报并获得66项国家专利,其中PCT2项,发明专利24项。CS 系列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷,可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体、太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗等行业。
展开 | 产品编号 | 产品名称 | 产品型号 | 产品功能 | 单价 | 库存状态 | 购物车 |
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SSC-000574 | CS200-A质量流量控制器流量计 | LLJ-0001 | 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性;产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,金属表面粗糙度可达25RA。 | ||||
SSC-000573 | CS200-C质量流量控制器流量计 | LLJ-0002 | 采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。 | ||||
CS200-A气体质量流量控制器,采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。
1. 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
2. CS200产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
3. CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。
4. CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
5. 产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。
6. 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
类型 |
CS200-A |
CS200-C |
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阀类型 |
常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭 |
常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭 |
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流量规格(N2) |
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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准确度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
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线性 |
±0.5% F.S. |
±0.5% F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S. |
±0.2% F.S. |
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工作压差范围 |
0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM |
0.05~0.35MPa |
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响应时间 |
≤ 1sec |
≤0.8sec |
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温度系数 |
零点: ≤±0.05% F.S./℃; |
零点: ≤±0.02% F.S./℃; |
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耐压强度 |
3MPa |
3MPa |
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漏率 |
1×10-10 Pa·m3 / sec He |
1×10-11 Pa·m3 / sec He |
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密封材料 |
氟橡胶 |
金属密封 |
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工作环境温度 |
(5~45)℃ |
(0~50)℃ |
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输入信号 |
数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus |
数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus |
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输出信号 |
数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA |
数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA |
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零漂 |
在没有零点校正时<0.6%F.S./年 |
在没有零点校正时<0.6%F.S./年 |
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电源 |
±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) |
±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) |
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表面化学成分 |
常态 |
Cr/Fe 比例≥ 2.0, CrO 厚度≥20 (埃) |
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电源接头形式 |
D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头 |
D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头 |
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表面粗糙度 |
25 Ra |
10 Ra |
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最大工作压力 |
0.45MPa |
0.45MPa |
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标准接头形式 |
双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3; |
双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套 1/4;VCR1/4 阳接头; |
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重量 |
1kg |
1.2kg |
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