CS-200系列简介

CS系列产品采用了国际领先的技术,申报并获得66项国家专利,其中PCT2,发明专利24项。CS 系列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷,可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体、太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗等行业。

产品列表
展开 产品编号 产品名称 产品型号 产品功能 单价 库存状态 购物车
SSC-000574 CS200-A质量流量控制器流量计 LLJ-0001 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性;产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,金属表面粗糙度可达25RA。
采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性;产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,金属表面粗糙度可达25RA。
SSC-000573 CS200-C质量流量控制器流量计 LLJ-0002 采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。
采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。
产品详细介绍

CS200-A气体质量流量控制器,采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。

产品优势

1.  采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。

2. CS200产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVVCS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA

3. CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。

4.  CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。

5.  产品支持RS485DeviceNet通讯方式。

6. 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

技术参数

类型

CS200-A

CS200-C

 

阀类型

常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭 

常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)或常闭

 

流量规格(N2)

(05,10,20,30,50,100,200,300,500)

  SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(05,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
 (0
1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

 

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
  ±0.35% F.S.(
35% F.S.)

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
  ±0.35% F.S.(
35% F.S.)

 

线性

±0.5% F.S.

±0.5% F.S.

 

重复精度

±0.2% F.S.

±0.2% F.S.

 

工作压差范围

0.050.35MPa 流量规格≤10SLM
  0.1
0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
  0.2
0.45MPa 30<流量规格≤50SLM

0.050.35MPa
 
流量规格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量规格>10SLM

 

响应时间

≤ 1sec

≤0.8sec

 

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S./℃
  调节时: ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM
 
调节时: ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格>30SLM

零点: ≤±0.02% F.S./℃
  调节时: ≤±0.05% F.S./℃

 

耐压强度

3MPa

3MPa

 

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

 

密封材料

氟橡胶

金属密封

 

工作环境温度

545

050

 

输入信号

数字: RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模拟:(05)VDC (420)mA (020)mA

数字: RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模拟:(05)VDC (420)mA (020)mA

 

输出信号

数字::RS485 DeviceNet ProfiBus

模拟:(05)VDC (420)mA (020)mA

数字::RS485 DeviceNet ProfiBus

模拟:(05)VDC (420)mA (020)mA

 

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S./

在没有零点校正时<0.6%F.S./

 

电源

±8 ±16 VDC (双极) +14 +28 VDC (单极)

±8 ±16 VDC (双极) +14 +28 VDC (单极)

 

表面化学成分

常态

Cr/Fe 比例≥  2.0, CrO 厚度≥20 (埃)

 

电源接头形式

9 针阳接头;D 15 针阳接头;DeviceNet   接头; ProfiBus 接头;模拟接头

9 针阳接头;D 15 针阳接头;DeviceNet   接头; ProfiBus 接头;模拟接头

 

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

 

最大工作压力

0.45MPa

0.45MPa

 

标准接头形式

双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3
  双卡套 1/8´´VCO 1/4";φ6()x1 软管接头; φ5()x1.5 软管接头;
  φ4()x1 软管接头;双卡套φ10mmA 型密封接头;

双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套 1/4VCR1/4 阳接头;
  1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头

 

重量

1kg

1.2kg