50nm精度压电平移台采用压电超声波马达驱动,轴向推16N;采用不锈钢交叉滚柱轴承,具有高精密度、高重复性,高线性度。
断电自锁,内具刹车功能,无回程间隙;
最小步进距50nm;
光栅尺位置传感器;
超薄紧凑型设计,方便机械集成,铝合金主体,阳极氧化处理。