压电纳米平移台50nm精度压电平移台简介

  50nm精度压电平移台采用压电超声波马达驱动,轴向推16N;采用不锈钢交叉滚柱轴承,具有高精密度、高重复性,高线性度。

50nm精度压电平移台特征

断电自锁,内具刹车功能,无回程间隙;

最小步进距50nm;

光栅尺位置传感器;

超薄紧凑型设计,方便机械集成,铝合金主体,阳极氧化处理。

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SW-LS3T-100

50nm精度压电平移台

  • 50
  • 70×105
  • 5
  • 符合标准
  • 0.3
  • <2
  • <10
SW-LS3T-20W

50nm精度压电平移台

  • 80
  • 70×105
  • 5
  • 符合标准
  • 0.3
  • <2
  • <10
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